JWS 系列离子泵是针对超高真空领域开发的高性能二极离子泵产品。该产品有多种型号,抽气速度范围从 25 L/s – 300 L/s 。该产品主要应用于半导体设备、光伏仪器、科学仪器设备、国家科学装置等领域。

型号 | 抽速 | 尺寸(长, 宽、高) (mm) | 重量 |
JWS-25 | 25 L/s | 168.4, 121.2, 181.5 | 9.5 kg |
JWS-55 | 55 L/s | 299.5, 129.5, 221.6 | 23.4 kg |
JWS-75 | 75 L/s | 260.0, 151.6, 381.5 | 25.6 kg |
JWS-S75* | 75 L/s | 267.7, 180.6, 391.5 | 32.0 kg |
JWS-100 | 100 L/s | 369.1, 151.6, 318.4 | 36.3 kg |
JWS-150 | 150 L/s | 369.1, 151.6, 380.0 | 45.0 kg |
JWS-S150* | 150 L/s | 405.7, 194.6, 391.5 | 60.0 kg |
JWS-S300* | 300 L/s | 427.7, 283.2, 396.37 | 86.0 kg |
*JWS-S 系列离子泵在 UHV 段做了改进,更加注重UHV在 2×10-10 mbar 环境下的抽速优化,相比同型号产品,抽速提高50%
具体产品信息请参照 http://www.jwjiaxing.com