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CPS带电粒子集成电源
CPS系列专为电子枪、离子源等带电粒子源设计。集成多路精密稳定高压电源，提供1kV至30kV高稳定加速电压及浮动灯丝、吸取极和抑制极输出。适用于场发射电子源、冷阴极电子源、 FIB的镓离子源等带电粒子源。该系列产品具备低纹波、优异稳定性，确保稳定电子源及离子源。产品采用开放式架构便于OEM厂商自主开发与单模块维修。
规格参数
| CPS-E20P10规格 | 加速电压 | 灯丝电流 | 吸取极 | 抑制极 |
|---|---|---|---|---|
| 电压范围 | 0~-20kV | ≤3V | 0~+10kV | 0~-2.5kV |
| 最大电流 | 500μA | 4 A | 1mA | 4 mA |
| 相对负载调整率 | ＜10 ppm | ＜1mA | ＜10 ppm | ＜10 ppm |
| 相对线性调整率 | ＜10 ppm | ＜1mA | ＜10 ppm | ＜10 ppm |
| 纹波 | ＜2 ppm | ＜1mA | ＜2 ppm | ＜4 ppm |
| 温度系数 | ＜10 ppm/℃ | -- | ＜10 ppm/℃ | ＜10 ppm/℃ |
| 稳定性(1h) | 10ppm | 500ppm | 10 ppm | 10 ppm |
| 斜坡率范围 | 1~20000 V/s | 1~3000 mA/s | 1~10000 V/s | 1~2500 V/s |
| 电压监测分辨率 | 0.1 V | -- | 0.1 V | 0.1 V |
| 电流监测分辨率 | 0.1 uA | 1 mA | 0.1 uA | 0.1 uA |
参考地：加速电压
参考加速电压：灯丝电流、吸取极、抑制极