应用场景

X射线光电子能谱（XPS），也称为化学分析电子能谱（ESCA），是一种表面敏感的分析技术，用于确定材料的元素组成和化学态。它基于光电效应，利用X射线照射材料，使原子内层轨道的电子被激发出来。通过测量这些光电子的动能（E_K）

E_B=hν-ϕ-E_K

其中，hν 是入射X射线光子的能量，ϕ是能谱仪的功函数。结合能是元素及其化学环境的特征，可以用于识别材料表面的元素及其化学态。由于XPS的无损、高表面灵敏度及高元素和化学态识别特性，使XPS广泛应用于材料科学、纳米技术、腐蚀科学、生物学和医学等领域。

USM-P通过空间成像技术，获得高空间分辨（≤ 50 nm） XPS图象，对元素或化学态进行高分辨率表面面分布分析，使分析结果更直观。图1为部分氧化镓（110）晶面示例，通过Ge3d峰（图1a）作扫描得出数据。经过数据分析后，得出化学态分布图（图1b），及相关光电子能谱（图1c）。对氧化过程及分布理解更为直观。

图1：部分氧化镓（110）晶面化学态图象。a）XPS图象（结合能29.3eV）；b）化学态分布图；c）各化学态光电子能谱。